ГОСТ:
Глаголев П. Ю. et al. Исследование динамики разогрева анодных узлов в безмасочном нанолитографе на основе массива микрофокусных рентгеновских трубок //Журнал технической физики. — 2021. — T.91. —№. 10 —C. 1566-1566

MLA:
Глаголев, П. Ю., et al. "Исследование динамики разогрева анодных узлов в безмасочном нанолитографе на основе массива микрофокусных рентгеновских трубок" Журнал технической физики 91.10 (2021): 1566-1566